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产品简介
产品性能:
“热解+分解”方式,节能、高效处理太阳能电池PECVD等设备的废气,将SiH4进行高温热解,将NH3直接进行分解,无需氨水处理,无需燃气。
处理能力,生产型:400/600/1000/1500SLM
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