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产品简介
产品性能:
4~8寸晶圆工艺,每台1~4/5管
恒温区:800/1000/1250mm
温度:200~1300℃/1350℃
全自动机械手装卸,悬臂/软着陆
晶圆自动倒片,完整的工厂MES系统对接,符合SECSⅡ/HSMS/GEM等标准
配套工艺:
扩散:气态/液态/固态源磷硼扩散
氧化:干氧/湿氧(DCE, HCL)
氮、氢退火,烧结、合金等
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