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产品简介
设备特点:
化结构设计 占地面积小
灵活多样的工艺调整
温区稳定,极高的可靠性
高洁净度,极低维护使用成本
产品性能:
炉型结构:水平/垂直
工艺温度可达1500℃(炉体可达更高的温度)
小批量R&D为5~25片/炉,生产型为50~100片/炉
常压/压力控制,极限<10-3mbar,工艺压力:800~1000mbar
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