青岛华旗科技有限公司
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产品详情
垂直氧化炉
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参考报价:
面议
品牌:
华旗科技
关注度:
23
样本:
暂无
型号:
垂直氧化炉
产地:
山东
信息完整度:
典型用户:
暂无
非金属电热元件:
其他
金属电热元件:
其他
烧结气氛:
其他
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产品简介

产品性能:

*垂直结构,5~50片/批

*稳定优良的成膜均匀性,重复性好

*微环境低氧控制先进技术

*硅片颗粒度控制稳定,国际标准

*多工艺选择,模块化,操作便利

*全自动流程,盒对盒,AGV对接

*高集成度,符合SECSⅡ/HSMS/GEM等标准

配套工艺:

*氧化:干氧/湿氧(DCE, HCL),氮、氢退火,合金、固化,快速热退火

*多晶硅P-Si,氮化硅Si3N4,氧化硅SiO2,磷硅玻璃PSG,硼磷硅玻璃BPSG

*TEOS,LTO,HTO,SIPOS...


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