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产品详情
垂直氧化炉—8寸
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参考报价:
面议
品牌:
华旗科技
关注度:
25
样本:
暂无
型号:
垂直氧化炉—8寸
产地:
山东
信息完整度:
典型用户:
暂无
非金属电热元件:
其他
金属电热元件:
其他
烧结气氛:
氧气
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高级会员 第 1
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认 证:工商信息已核实
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产品简介

垂直氧化系统用于IC集成电路、MEMS、电力电子器件、光电子器件等领域,6"、8"晶圆的氧化、合金、退火等工艺。

产品性能:

*垂直结构,高效产能,150片/批

*稳定优良的成膜均匀性,重复性好

*微环境低氧控制先进技术

*硅片颗粒度控制稳定,国际标准

*全自动流程,盒对盒,AGV对接

配套工艺:


*氧化:干氧/湿氧(DCE, HCL)

*氮、氢退火,烧结、合金,固化等

*快速热退火


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